周云飞：华中科技大学机械学院研究员

　　周云飞（Zhou Yunfei，Researcher），1956年生，浙江临海人。1982年毕业于浙江大学机械系，1989和1993年于华中理工大学获硕士、博士。曾在研究所、企业工作，1993年博士毕业留校工作，1995年1月由讲师破格晋升研究员，1998年任博士生导师。入选湖北省有突出贡献中青年专家，湖北省科技精英，国家百千万人才计划，华中科技大学特聘教授与华中学者特聘教授。 主要研究经历：主持语主研完成国家级项目10余项。“八五”期间，主研开发华中I型数控系统，已进入产业发展，成果获1999年中国高校十大科技进展与2000年国家科技进步二等奖；“十五”期间，参加国家重大项目“100nm步进扫描投影光刻机”研发，负责超精密运动控制系统研制，完成的由7个多处理器并行的运动控制器与控制算法软件，实现定位精度10nm，硅片台与掩模台两台同步运动精度MA<5nm、MSD<12nm。（国外比喻相当于两架时速为1000公里的波音747，飞行中相对位置误差小于10微米），为我国首台高精度光刻机的研发作出贡献，2012年获国家技术发明二等奖。此外，获省部级科技奖励一等奖3项、二等奖2项。 在国内外期刊发表论文100余篇。指导出站博士后6名，毕业博士20余名、硕士多名。