何茂栋：北京京仪自动化装备技术股份有限公司产品部技术总监

　　何茂栋，男，汉族，1980年10月出生，中共党员，博士研究生学历，北京京仪自动化装备技术股份有限公司产品部技术总监。他长期致力于集成电路领域高端装备的设计开发及国产化应用，先后参与国家863项目“VB法大直径砷化镓单晶炉和退火炉研制”、国家科技重大专项子项目“磷化铟CZ-50型高压单晶炉研制”、北京市发改委重点项目“多晶铸锭生长与加工设备研发及产业化”、北京市科委“多通道低温温控设备设计开发”等多个重点项目的研究开发。2014年加入集成电路专用温控设备项目组，带领技术团队攻坚克难开发出多通道、高精度、宽温度、大负载的20多种型号的温控设备。他开发的温控设备，采用先进的智能控制算法对温度进行精密控制，温控精度优于国际同类产品，温控设备的成功开发打破国外厂家的技术垄断，达到国际先进水平，解决了集成电路制造领域专用温控设备长期被国外垄断及“卡脖子”的问题，填补了国内空白。集成电路专用温控设备能够满足国内外主流半导体刻蚀工艺设备的要求，被销往中芯国际、长江存储、华力、武汉新芯等集成电路制造厂，得到批量推广应用，使得国内市场占有率超过50%，创造经济效益超过10亿元，成功地实现了国外进口高端温控设备的国产化替代，促进了国内集成电路制造领域健康良性发展。在此期间，他发表论文7篇，获授权专利52项，软件著作权15项，10次荣获省部级科技奖及荣誉奖。