张卫,1968年5月生,复旦大学教授。长期致力于集成电路领域的创新研究,发明了一种全新原理的微电子基础器件——半浮栅晶体管(SFGT),首次实现了 3 层堆叠纳米线/纳米片的 GAA 器件沟道结构,打通了实现环栅器件的完整制备流程。牵头编写了我国第一部《中国集成电路技术发展路线图》,牵头编撰了我国第一个“集成电路科学与工程”一级学科建设方案,主导了多个集成电路领域重大科技创新平台的建设工作。在本领域顶尖期刊及学术会议上发表论文300多篇,授权中国发明专利94项。
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